水中吸着ポンプシステム(水中保管のウエハー用)

【改良型廉価版】水中吸着ポンプシステムの特長

激安!水中吸着ポンプシステム

従来品を簡素化し、経済的な価格にてのご提供が可能となりました。
真空ポンプはFV-XPを1台使用し、吸引タンクはアクリル製のパイプを用いています。
タンク内に発泡フロートを浮遊させ、吸水が一定量に達するとフロートが押し上げられる事で真空弁が開き、
タンク内の真空が破壊され瞬時に吸水が止まります。これによりポンプ内に水の浸入を防ぎます。

【使用手順】

  • 排水口のコックが閉まっているか確認後、ポンプスイッチを入れます。
  • 円筒内の排気が始まります。真空計を確認し40kpa以上でご使用下さい。
  • 吸着物と共に吸引した水は、一定量(150cc)に達するとフロートを押し上げ、真空弁を開き吸引を停止します。
  • タンク内の水はポンプのスイッチを切ってから、タンク下の排水コックを開き排水してください。
  • タンク内の水が除去されるとフロートが下がり真空弁が閉じます。

注)タンク内真空圧低下防止のため、真空ピンセットはF001をご使用下さい。

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【使用材質】

  • 水槽… アクリル樹脂
  • 切り替えバルブ … PTFE、POM(Oリング バイトンゴム)
  • ポンプケース … ナイロン樹脂
  • チューブ … PVC塩ビチューブ
  • フロート … 発泡PE
  • その他 … アクリル、塩ビ

仕様

水槽内の吸引水量の限界(目盛迄)

140cc

重量

3kg

サイズ

高さ203m/m 長さ215m/m 幅138m/m

使用ポンプ FV-XP 1台使用

吸引圧40kPa 流量5リットル/min


【従来品】水中吸着ポンプシステムの特長

水中吸着ポンプシステム(水中保管のウエハー用)
  • 水中ポンプシステムの客先仕様で、ご相談及びお見積り致します。
  • 水中にあるワークを水と共に吸着し搬送が出来ます。
  • 吸引した水は水槽に溜め一定の量に達したら手動にて排水させる構造です。

【使用手順】

  • タンク内の真空圧の低下を防止するために、真空ピンセットはF001をご使用下さい。
  • タンクの表面にある真空計が所定の真空圧55kPaに達したら水中吸着ができます。吸引水量が約0.5リットルに達すると、フロートが上昇しタンク内の真空弁が閉じ真空圧が弱くなり、吸着できなくなります。ハンドルを切り換えて排水を行います。
  • 吸引、排水は、白色のレバー上下操作で切り換えてください。排水はポンプ内を加圧する為、スピーディにタンク内より排水されます。この時、完全に排水されないと真空弁が開かず、吸引できなくなる為、完全に排水してください。
  • タンク内の水が完全に除去されますとフロートが下がり、ハンドル切り換えにより連結されている真空バルブが開き吸引が開始されます。
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【使用材質】

  • 水槽… 透明PVC塩ビ板
  • 切り替えバルブ … PTFE、POM(Oリング バイトンゴム)
  • ポンプケース … ナイロン樹脂
  • チューブ … PVC塩ビチューブ
  • フロート … 発泡ポリウレタン樹脂
  • その他 … アクリル樹脂 ポリカーポネート樹脂

仕様

水槽内の吸引水量の限界(目盛迄)

0.5リットル

重量

5kg

サイズ

高さ230m/m 長さ210m/m 幅140m/m

使用ポンプ FV-XP2台並列使用

吸引圧55kPa 流量8リットル/min