ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズ(導電性)

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの特長

ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ
  • 持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択し、平置き用BC-Kシリーズは2インチから12インチまで対応しております。
    (使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません)
  • ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、ウエハー縁を点で接触します。
  • ESD対策用透明アクリル樹脂使用のガイドリングは、目視による位置決めや吸引状態の確認が出来ます。
  • 本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化を図りました。
  • 両面にパターン印刷があり且つ、50µmの薄く取り扱いの難しいウエハーに対応できます。
  • 角型など対象物に合せた特注設計品にも対応いたします。

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの動作原理

ガイドリング白色ピン4ヵ所の内側にウエハーをセットしスタートボタンを押すと、ウエハーは浮上してセンターに寄ります。その後、黒角ピンで固定され非接触での搬送ができます。

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの製品概要

ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

◆使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択してください。ガイドリングを変える事で各種ウエハーに対応が可能となります。ガイドリング交換も簡単に行えます。