ウエハー搬送用

微小物・小物搬送用


真空ピンセット本体は物性及び導電性に優れた素材を使用し、特許取得の軽快な弁の開閉動作でウエハー搬送がストレスなく作業効の向上を実現します。
導電性 Cシリーズと、耐薬品性 Fシリーズがあります。


精密部品や薄い微軽量小物をスムーズに搬送する吸引・吐出(吐出調整機構内蔵)の両機能を備えた真空ピンセット&ポンプシステムです。
導電性 Cシリーズと、耐薬品性 Fシリーズがあります。


ウエハーの接触を最小限に抑え、簡単に安定したクリップができるので、安定したすばやいウエハー搬送作業が行えます。
レバーロックLシリーズHシリーズがあります。


微小物搬送の動きを簡略化したイラストアニメーションです。


微小物の搬送を的確に、素早く行う汎用性の高いシステムです。ホビーから産業用まで幅広い市場で利用されています。
導電性 Cシリーズと、耐薬品性 Fシリーズがあります。


持手の角度は3タイプから選べて、ウエハーサイズ2インチ〜12インチまで搬送可能です。ソーラーパネルやプロトスキャリア用なども対応。


搬送物のサイズや特性により様々な吸着ノズル、パット、スリットチップなどを各サイズご用意しております。材質も導電性PEEK 、べスペル、シリコーンなど使用環境や搬送物素材によりお選びいただけます。吸着パット・チップ一覧はこちら


手動・電動タイプともに、ローラーの着脱が簡単で洗浄も容易です。 キャリアに合わせた、設計製作、お見積りいたします。
ノッチ・アライナー(電動自動タイプ)手動タイプ(ノッチ共用)電動タイプ手動タイプがあります。


100V電源のある場所ならどこでも使え、非接触搬送のできるベルヌーイ・パット&ポンプシステムです。



真空ポンプ

パッキン

ダイヤフラムを密閉スペースに設置することで多段階に減圧する構造なので、コンパクトなボディで高い真空圧を得られます。
FV-30FV-60FV-XPFV-10があります。


自社製の高精度精密自動旋盤を用い切削加工された防水パッキンです。サンプル品から量産製品にいたるまで短納期で対応いたします。