ニュース&トピックス

ベルヌーイチャックがさらに使いやすくなりました。
平成29年5月

ベルヌーイチャック

お客様のご要望に応え下記項目を改良いたしました。
(1)強度対策のため、先端部分をSUS材質に変更いたしました。
(2)ウエハーの位置決めに便利なガイドラインを追加いたしました。
※プロトスキャリア用は外周で位置決めするため、ガイドラインはありません。


新たに「ガラス基盤ハンドリングシリーズ」を開発
平成29年5月

スマホ用ガラス基盤をマニュアルピンセットで基盤搬送キャリアから取り出している例

従来からのマニュアルピンセット、真空ピンセット、ベルヌーイチャック搬送冶具をスマホガラス基盤、タブレットガラス基盤、大型ガラス基盤の搬送用としてお使い頂けるようになりました。
接触、非接触搬送と用途によって選べるラインナップを取り揃えております。

写真はスマホ用ガラス基盤をマニュアルピンセットで基盤搬送キャリアから取り出している例です。


タブレット用ガラス基盤をマニュアルピンセットで基盤搬送キャリアから取り出している例

写真はタブレット用ガラス基盤をマニュアルピンセットで搬送している例です。


スマホ用ガラス基盤を真空ピンセットで基盤搬送キャリアから取り出している例

写真はスマホ用ガラス基盤を真空ピンセットで基盤搬送キャリアから取り出している例です。
エアー源は当社製、小型真空ポンプFV30型を使用しています。


タブレット用ガラス基盤を真空ピンセットで基盤搬送キャリアから取り出している例

写真はタブレット用ガラス基盤を真空ピンセットで搬送している例です。


スマホ用ガラス基盤を非接触で搬送するベルヌーイチャック

ベルヌーイチャックを使用することで、スマホ用ガラス基盤を非接触にて搬送できます。


タブレット用ガラス基盤を非接触で搬送するベルヌーイチャック

ベルヌーイチャックを使用することで、タブレット用ガラス基盤を非接触にて搬送できます。


ガラス基板用2種類のベルヌーイチャックバルブ

ガラス基板用には2種類のベルヌーイチャックバルブを用意しております。スイッチ(ボタン)はノーマルオープン及びスライドロックから選択できます。特に大型ガラス基板の場合は、スライドロック式をお勧めしております。
また、ベルヌーイチャックは、ご希望の基盤サイズで設計製造が可能です。


ガラス基板用2種類のベルヌーイチャックバルブ

左の写真はガラス基板サイズ300×350mmに対応するベルヌーイチャックです。


ポンプ用バッファー(ポンプ内に水が侵入するのを防ぐタンク)を発売
平成27年8月

ベルヌーイチャック用平置きスタンド

水の付着したウエハーや吸着物などの吸着搬送にご利用いただけます。
材質は透明なメタアクリル樹脂製で内部が確認できるのはもとより、適正な質量を得るために肉厚な構造です。

当社製真空ポンプとの組合せに最適です。


ベルヌーイチャック用平置きスタンドを発売
平成27年5月

ベルヌーイチャック用平置きスタンド

ベルヌーイチャック用平置きスタンド

ベルヌーイチャック用オプションとして平置スタンドをラインナップ。
ストッパー及びガイド本体の保護のため、ステージの使用をお勧めします。


5インチ、6インチ用(小)
ベルヌーイチャック平置きスタンド
コードNo.BCS-M

8インチ、12インチ用(大)
ベルヌーイチャック平置きスタンド
コードNo.BCS-L


エアー駆動の試験用自動ステージ「ロボノズル」を製作
平成27年5月

ロボノズル

ロボノズル

この装置はφ0.7の金属ボールを長期間に渡って吸着離脱を繰り返す性能試験用に使用しています。
応用例として微少物用拡大鏡等を用いた検査装置、移動整列搬送用等など幅広く展開利用できるのではと考えております。

この装置の空気駆動動力は、長年の実績がある当社製FV-XP型シリンダ駆動用ポンプを使用し適切な空気圧を発生させております。低空圧のため、指等を挟む心配もなく安心してご利用頂けます。また、吸着離脱用ポンプは同様に当社製FV-W型を使用し、安定した吸着・離脱性能を発揮しています。
運転音も極めて静粛です。


ベロ付ポーラスチップを製作
平成27年5月

ベロ付ポーラスチップ

従来のポーラスチップの先端部に鋭利な突起を付けました。
これにより、平面上に置かれた吸着物を持ち上げ、隙間に差し込む事で簡単に吸着搬送が可能になりました。


フォーク付マニュアルピンセットを製作
平成27年5月

フォーク付マニュアルピンセット

450mmフォーク付マニュアルピンセット

レバータイプのマニュアルピンセットにウエハーを支えるフォークを取り付ました。
薄いウエハーの保持に威力を発揮します。


2連タイプ12インチ用マニュアルピンセットを製作
平成27年5月

2連タイプ12インチ用マニュアルピンセット

450mm用マニュアルピンセットに続き、12インチ用2連タイプマニュアルピンセットもラインナップ致しました。
連結部の材質はMCナイロン製です。


プロトスキャリア用ベルヌーイチャックを改良
平成27年5月

プロトスキャリア用ベルヌーイチャック

プロトスキャリア用ベルヌーイ本体のガイドストッパー(4ヶ所)の材質を導電性へ変更致しました。


ベルヌーイチャックを改良
平成27年5月

ベルヌーイチャック

ベルヌーイ本体とバルブ部分を連結するパーツをSUS製に変更しました。 これにより従来品に比べて強度が増しました。


自動ノッチアライナー(8インチ用)を発売
平成26年4月

自動ノッチアライナー(8インチ用)

●カム切替でノッチ位置決めを上下どちらにでも設定が可能です。
●φ3PEEKローラーは簡単に交換ができます。
●薄い300ミクロンクラスのウエハーにも対応可能です。

「ノッチ・アライナー(電動自動タイプ)」の詳細はこちら


プロトスキャリア用90°曲げチップを製作
平成26年4月

プロトスキャリア用90°曲げチップ

プロトスキャリア内から300ミクロンクラスのウエハーの取り出しに最適です。
チップはNo66のポーラスチップを使用してます。また、ウエハーにダメージを与えないよう吸着時に目視で確認できるハンドリングインジケータも準備いたしました。


450mm(18インチ)用マニュアルピンセットを製作
平成25年6月

手元スイッチ仕様の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック
手元スイッチ仕様の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック

12インチ用のマニュアルピンセット2組を連結させて、450mm用マニュアルピンセットを製作いたしました。
連結部の材質はMCナイロン製です。
本体質量:200g


導電性扇型ポーラスチップ製造中止のお知らせ
平成25年4月

導電性扇型ポーラスチップ製造中止のお知らせ

諸般の事情により、8インチ用導電性扇型ポーラスチップ No.68及び12インチ用導電性扇型ポーラスチップ No.69の2機種が製造中止となります。
尚、販売については猶予期間を3ヵ月とし7月末をもって終了とさせて頂きます。
お客様にはご迷惑をおかけ致しますが、何卒ご理解のほど宜しくお願い致します。


450mm(18インチ)用ベルヌーイチャックを開発
平成25年4月

450mm(18インチ)用ベルヌーイチャックを開発

大口径用の本体を使用し安定した搬送を実現しました。
本体質量は900gとなります。


450mm(18インチ)用導電性PEEK製チップの形状を変更
平成25年4月

450mm(18インチ)用導電性PEEK製チップの形状を変更
450mm(18インチ)用導電性PEEK製チップの形状を変更

従来品に比べチップ形状を大きくし、より安定した搬送を実現。吸着チップは導電性PEEK製とPEEK製があります。
写真の真空ピンセットは大口径用C112-C-Y-171を使用しております。
質量はチップ130g、本体80gとなります。
またエアー源として大口径用真空ポンプ(FV-XP、2台連結タイプ)もご用意いたしました。


クランク曲げが可能なポーラスチップ
平成25年3月

手元スイッチ仕様の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック
手元スイッチ仕様の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック

従来の曲げ加工に加えて、クランクに曲げる加工が可能となりました。

←従来の曲げ加工品


手元スイッチ仕様の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック
平成25年2月

手元スイッチ仕様の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック
手元スイッチ仕様の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック

このスイッチは確実、軽快に操作が出来、吸着物の置き方に対応するため両手を自由に使えることを目的にしております。
指先を操作より解放しました。(POM樹脂製)


プロトスキャリア300ミクロン以下専用のベルヌーイチャック
平成25年2月

プロトスキャリア300ミクロン以下専用のベルヌーイチャック

薄いウェハーに無理なストレスを与えずに搬送することが出来ます。


縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャックを製品化
平成24年11月

縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック用フィルタ
縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック用フィルタ

新たに開発されたソフトストッパー付ベルヌーイチャックは、水平搬送はもちろんのこと、今まで困難であった縦置きのウェハー容器からの非接触取出しも可能となりました。
ベルヌーイ効果の働きと同時に、ウェハー落下防止のソフトストッパーが立ち上がり縦置きの容器からウェハーを非接触状態で取り出すことが簡単に出来るようになりました。
ウェハーサイズは、6インチ、8インチ、に対応しております。


フットスイッチ対応の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック
平成24年11月

フットスイッチ対応の縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック

ソフトストッパー付ベルヌーイチャックをフットスイッチでもご利用頂けます。


縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャック用フィルタ
平成24年11月

縦、横、キャリア対応ベルヌーイチャックを製品化

ソフトストッパー付ベルヌーイチャックのフィルタ付きもラインナップしました。


450mmウエハー用吸着チップをラインナップ
平成24年11月

450mmウエハー用吸着チップ

チップはPEEK製で、450mmのウエハーの中心部を安定して保持します。


濡れたウエハー搬送用のリリース水中吸着ポンプシステムを開発
平成24年11月

濡れたウエハー搬送用のリリース水中吸着ポンプシステムを開発

従来の水中吸着ポンプシステムにリリース真空ピンセットの吹き出し機能をプラスしました。
水分の影響により離れなくなったウエハーを強制的に離脱することが可能になり、作業効率アップに貢献致します。


吸引状態が一目瞭然、ハンドリングインジゲータを発売
平成24年11月

吸引状態が一目瞭然、ハンドリングインジゲータを発売

真空ピンセットとキャップの間に取り付けて使用します。
インジゲータ内の白いピンが上下することで、吸着物のハンドリングが可能な状態を目視で確認できる導電性製品です。
Fシリーズ、Cシリーズ共用で使用できます。


曲面に吸着するコンパス型パッドを改良
平成24年11月

曲面に吸着するコンパス型パッドを改良

コンパス支点部を金属から導電性ナイロンに変更し軽量化を図りました。また、コンパス本体とパッド間のゴム径を大きくして、より装着がしやすくなりました。


アキレスケース対応のベルヌーイチャックを改良
平成24年11月

アキレスケース対応のベルヌーイチャックを改良

ウエハーの外周を保護する構造へ変更致しました。
※こちらの製品は平置きから平置きの搬送になります。


薄物に対応可能なコンパス型吸着治具
平成24年5月

水中吸着ピンセットに廉価版が登場
曲面に吸着するコンパス型パッド

太陽電池パネル(写真上)や厚さ100ミクロンの薄い板(写真下)なども3点支持でしっかりキャッチし、吸着搬送が可能です。


重量物用真空ピンセットを開発
平成24年5月

重量物用真空ピンセットを開発

ガラス基板などの重量物を吸着にて、搬送可能な真空ピンセットを開発いたしました。


水中吸着ピンセットに廉価版が登場
平成24年4月

水中吸着ピンセットに廉価版が登場

従来品より簡素化されたタイプです。
真空ポンプはFV-XPを1台使用し、吸引タンクはアクリル製のパイプを用いております。吸水が一定量に達すると発泡フロートが押し上げられ真空弁が開き、タンク内の真空が破壊され瞬時に吸水が止まります。この仕組みによりポンプ内に水が浸入するのを防いでいます。
また、機構部品の簡素化によって経済的な価格での提供を実現しました。
【改良型廉価版】水中吸着ポンプシステムの詳細はこちら


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曲面に吸着するコンパス型パッドを開発
平成24年4月

曲面に吸着するコンパス型パッド
曲面に吸着するコンパス型パッド

曲面の吸着面にもフィットするようパッドの根本に緩衝材を取り付け、曲面に沿って簡単に曲がるようにし、簡単に対象物をキャッチできるようにしました。

湾曲した薄いウエハーでも両端をしっかりキャッチできます。


フィルム形状に最適なコンパス型吸着治具をリニューアル
平成24年1月

フィルム形状に最適なコンパス型吸着治具をリニューアル
フィルム形状に最適なコンパス型吸着治具をリニューアル

新たに吸着部にゴム緩衝材を組み合わせ、ソフトな感触で吸着物をキャッチします。また、対象物へのダメージも軽減されます。 フィルムの両端をしっかりキャッチすることで、長辺のダレや歪みが無く安定した吸着搬送が可能です。さらに、コンパスと同じように対象物に合わせた間隔の調整も自在にできます。


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導電性ポーラスパッドを開発
平成24年1月

導電性ポーラスパッドを開発
導電性ポーラスパッドを開発

吸着部は、吸着面のポーラス部と従来のゴム製パッドを組合せにより構成されております。ゴム製パッドがクッションの様な緩衝材となり、自在にフィットし吸着物にショックを与えないため、皺や吸着痕をつけることなく吸着離脱がスムースに行えます。
当社製真空ポンプFV-10を使用することにより無段階で真空圧が調整でき、吸着物に最適な真空圧が選べます。また、吸着力が弱い場合はFV-30FV-60FV-XPなどの真空ポンプもラインナップしております。
真空ピンセットF002のノーマルオープンを使用する事で、指先の負担も軽減されます。


←吸着面が導電性PEEK製(黒色)とテフロン製(白色)の2種類のポーラスパッドが用意されております。


450mmウエハー用導電性ポーラスチップを開発
平成24年1月

450mmウエハー用導電性ポーラスチップを開発

チップ部本体は直径100mm、厚さ7mmの円形で、素材は導電性PEEK製の静電気対策品です。吸着面は直径0.9mmの孔で形成されており、裏面は孔をニトリルゴムのOリングで封止しています。
薄型ウエハーまで対応でき、吸引軸の長さもご要望のサイズに対応いたします。
当社製真空ポンプFV-60を使用することにより、約450gまでの搬送が可能です。


大口径ウエハー及び重量物対応真空ピンセットを新発売
平成24年1月

大口径ウエハー及び重量物対応真空ピンセットを新発売

ピンセット部は従来品より大きくなり、大口径ウエハーや重量物搬送時においても軸が太いため安定的に保持できます。
従来品と同様にC111ノーマルクローズ・C112ノーマルオープン・C113遮断弁付ノーマルオープンの3種類を用意しました。使用状態に合わせて選定が可能です。


アキレスケース用ベルヌーイチャック
平成24年1月

アキレスケース用ベルヌーイチャック

アキレスケース内からウエハーや保護シートの出し入れが出来るベルヌーイチャックです。
200ミクロン以下のウエハーにも対応可能です。


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フィルター付きベルヌーイチャック
平成24年1月

フィルター付きベルヌーイチャック

従来のベルヌーイチャックフィルターを取り付けられるように、フィルター連結ジョイントを用意しました。(KITZ製フィルター専用)


太陽電池セル用ベルヌーイチャックをリニューアル
平成24年1月

太陽電池セル用ベルヌーイチャックをリニューアル

従来品に対し吐出部を増設し、安定した搬送が可能になりました。
位置決めも簡単になり作業効率が格段にアップします。


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山形県立博物館、市民講座で当社ベルヌーイチャックを実演
平成23年12月

山形県立博物館、市民講座で当社ベルヌーイチャックを実演

●市民講座「エアー搬送技術」
●2011年12月4日(日)実施
エアー搬送技術をテーマにした一般県民を対象とする講座において、当社ベルヌーイチャックの紹介を依頼されました。


コンパス型吸着パッドを開発
平成23年4月

非接触でウエハー搬送するベルヌーイチャックBCシリーズ
  • 主に薄いシート状の物を吸着搬送する事に適しています。
  • 吸着パットが両端に2か所あるため、安定した吸着ができます。また、コンパスのようにパットの位置を最大180°から鋭角へと変化させる事が可能です。
    写真はシートの幅20mmから80mm位に合わせられます。

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東北地方太平洋沖地震に関するお知らせ
平成23年3月

このたびの震災により被災された皆様に心よりお見舞い申し上げます。

当社の生産状況についてお知らせいたします。
組込部品等は近隣の業者様より入手しておりますので、今のところ製造過程に於いて遅延等の問題は発生しておりません。
ただ、出荷に於いて物流が滞っている地域に対して、遅れるケースも発生する場合があります。
お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、何卒ご理解を賜りますようお願い申し上げます。

非接触でウエハー搬送するベルヌーイチャックBCシリーズが改良されました
平成22年10月

非接触でウエハー搬送するベルヌーイチャックBCシリーズ
  • 持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択し、対応インチのガイドリングを変えれば2インチから12インチまで使用可能です。(使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません)
  • ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、ウエハー縁を点で接触します。
  • ESD対策用透明アクリル樹脂使用のガイドリングは、目視による位置決めや吸引状態の確認が出来ます。
  • 本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化を図りました。
  • 両面にパターン印刷があり且つ、50μmの薄く取り扱いの難しいウエハーに対応できます。
  • 角型など対象物に合せた特注設計品にも対応いたします。

ロック付マニュアルピンセットに【導電性】タイプ新登場
  • ナノカーボン入りの導電性PEEK製素材を使用、ウエハーハンドリングの静電気対策に有効です。

太陽電池セル用ベルヌーイチャック
  • 太陽電池セルをベルヌーイチャックにて低空圧で懸垂保持します。
  • 保持板は透明でハンドリング状態が目視できます。
  • 空気弁はノーマルクローズ、オープンとが選択できます。

極薄ウエハー用チップ3種を新発売
平成22年10月

極薄ウエハー用チップ3種
  • 脆弱な極薄ウエハーの搬送に威力を発揮します。
  • 化合物半導体、太陽電池用ウエハーなどに最適です。
  • ストレス(応力)を極力抑えた吸着搬送が可能です。
  • 写真の下から2点は、ポリイミドコーティング処理品です。

補強軸付12インチ用チップを改良。さらなる高強度へ。
平成22年6月

補強軸付12インチ用チップ
  • 中心の補強軸パイプ内部にピアノ線を封入しさらなる振動防止を実現。
  • 基礎部分の接合部を延長。
  • 圧入部の長さを20mmとし、止めネジを4ヵ所に増設。

サセプター用高温対応チップを発売
平成22年5月

サセプター用高温対応チップ
  • 材質にベスペルを使用し、耐用温度250℃での利用を可能にしました。
  • 先端部分が薄く鋭利になっている為、ウエハーの隙間に入れてすくい上げやすくなっています。

12インチ用導電性ポーラスチップ(No.66)を新ラインナップ
平成22年5月

ポーラスチップ
  • 8インチ用までしかなかった導電性ポーラスチップの12インチ用が登場。
  • 化合物半導体・薄いウエハーなどのハンドリングにおけるストレス(応力)の軽減に最適。
  • 吸着離脱の応答も軽快。
  • 導電性PEEK製。

微小物搬送システムの商品名を変更しました。
平成22年3月

リリース真空ピンセット
バキュームピンセット

以前より御好評いただいております「微小物搬送システム」ですが、この度、製品用途の住み分けを明確にするため、お客様にとっても分かりやすい名称に変更致しました。

商品コード等に変更はございません。


汎用的な光ディスクを非接触で搬送できるベルヌーイ・ディスクチャックを発売
平成21年9月

汎用的な光ディスクを非接触で搬送できるベルヌーイ・ディスクチャック
汎用的な光ディスクを非接触で搬送できるベルヌーイ・ディスクチャック

円盤状で中心部にガイド孔を設け、さらに外周のガイド孔中間点に複数の圧縮空気の噴射孔を設ける事で、円盤上に空気の流れを作りベルヌーイ効果を発生させます。光ディスクを懸垂保持させ、円盤外周辺のストッパーピンにディスク外周断面のみを接触させて搬送する画期的な冶具です。
吸着装置保持部には圧縮空気開閉ボタンが設けられていて、光ディスク容器のガイドに挿入し、ボタン開閉にて容易に懸垂保持しながら搬送ができます。
本体は樹脂製のため、軽量で作業負担が軽減可能です。


従来のノズルでは届かないような狭い隙間に威力を発揮するロングノズルを発売
平成21年8月

狭い隙間に威力を発揮するロングノズル
  • 内径が0.1mm、0.2mm、0.5mmの3タイプをラインナップ。
  • 材質はPEEK製(非導電性)で、吐出機能付き真空ポンプFV-Wを使用してください。
  • 最長25mmまでの特注品扱いとなり、その範囲でご希望の長さを製作いたします。
※注:多少の湾曲を伴います。

垂直・水平収納のウエハーを非接触で搬送できるベルヌーイピックアップ
平成21年7月

垂直に収納された容器内はピッチ間が非常に狭いため、従来品では肉厚が厚くて挿入が出来ませんでした。それを解決するため、狭いピッチ間にも挿入できる3mm厚の保持板を新設計し、製品化を実現しました。
圧縮した吐出空気にてベルヌーイ効果を発生させながら、ウエハー間に保持板を挿入後、保持板上に設けられた2点ストッパーに接触、その後、保持板先端部にあるピックアップ爪を回転起立すると同時に前後ストッパーにて外周断面を軽く接触保持させ非接触安定搬送ができることで、空気使用量の減少につながります。
しかも一連の操作は独自の2段カムダイヤルの採用でスムーズに行えます。


縦置き、平置きの搬送が出来る新エジェクターピンセット
平成20年12月


150
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エジェクターピンセットは、吐出空気を利用したベルヌーイ効果とエジェクター効果を効率的に発揮させる画期的な吸着システムです。
ウエハーに吸着板を接近させることで吸着面に引き寄せ、密着し、吸着力による摩擦抵抗で確実に吸着搬送し、ウエハーや薄型ウエハーの縦置きや平置きの吸着搬送を可能にしています。
新エジェクターピンセットの改良点は、柔らかい保護紙が垂れずに搬送できて、エアーも持ち手方向に吐出するようになりました。但し、キャリア端以外のウエハー間での吸着は出来ません。
4&5、6&8、12インチ用の3種をラインナップしました。


補強軸付真空ピンセット(15-3F・15-PK)を発売
平成20年10月

補強軸付真空ピンセット(15-3F・15-PK)を発売

従来の12インチ用15-3F・15-PKのチップは2本立ての軸の剛性が弱いため、ウエハー吸着時に軸が湾曲し揺れが生じて不安定な状態になることが見受けられました。
そこで剛性、耐蝕性のある補強軸を中心に増やし3本とすることにより、安定した吸着ができるようになりました。


導電性PVCチューブ専用継ぎ手(852-1)を発売
平成20年10月

導電性PVCチューブ専用継ぎ手(852-1)を発売

導電性PVCチューブ852をこの継ぎ手を利用することで、直列に接続することが可能になり、従来の1.5mを越えて導電性PVCチューブの取り回しが出来るようになりました。


8インチノッチ&オリフラ・アライナー(手動タイプ)を発売
平成20年6月

8インチノッチ&オリフラ・アライナー(手動タイプ)を発売
  • ノッチタイプウエハーとオリフラタイプウエハーの両方が合わせられる手動型のアライナーです。
  • 差し込み式の止め具を使用していますのでローラーの着脱が簡単で洗浄も容易です。
  • 導電性MCナイロンを主に使用。体積固有抵抗値106Ω/cmと低い抵抗値で静電気対策に有効な素材です。
  • 本体寸法/質量:W290×D190×H143/1.8s(8インチ用)

吐出空気を使用したエジェクターピンセットを発売
平成19年8月

吸着物に合わせて吐出圧の調整が必要です
150
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低圧の吐出空気を利用して肉薄(100μ前後)シリコンウエハーの吸着搬送を目的として開発されたエジェクターピンセットです。
容器内縦置き状態のウエハーは、自重でウエハー吸着面が湾曲して従来の真空吸着方式では吸着平面が確保できず搬送ができないのが現状でした。やむをえず樹脂製挟持ピンセットを使用して挟むためウエハーにダメージ等の恐れがありました。
ウエハーに吸着板を接近させることで吸着面に引き寄せ、密着し、吸着力による摩擦抵抗で確実に吸着搬送することが出来る画期的な吸着システムなのです。
エジェクターピンセットはベルヌーイ効果及びエジェクター効果を効率的に発揮させ、容器内の縦置きや平置きの湾曲した肉薄ウエハーはもとより8インチウエハー、平置き保護紙までも対応する汎用性の高い搬送システムに仕上がっています。また、ベルヌーイ非接触のような間隙が無いため振動の発生もなく迅速な搬送が可能になりました。


(静電気対策)小物用卓上ベルヌーイシステムを発売
平成19年8月

(静電気対策)小物用卓上ベルヌーイシステムを発売

電源のある場所ならどこでも使え、非接触搬送のできるベルヌーイ・パット&ポンプシステムです。新たに開発した先端吸着部は導電性プラスチックに、吸着効率の最も良い構造を精密機械加工にて作製しました。パット表面の噴射孔より気体を噴射すると気体の粘性でワークが上方に引き上げられベルヌーイ効果による吸着力が発生します。これを利用した画期的な製品です。
■特長■

  • ヘパフィルターを内蔵した超小型コンプレッサとベルヌーイパットとの組み合わせで卓上にて手軽に非接触搬送が出来ます。(約20mm角位迄)
  • 操作部はペンシル型小型空気バルブでペンタッチの感覚で軽快な操作ができます。
  • 導電性フッ素ゴム製の王冠型ストッパー採用にて吸着時及び搬送時のワークの飛び出しを防止しています。
  • 静電気対策を考慮して本体に使用している材質は導電性樹脂です。

4インチウエハー用ベルヌーイチップを発売
平成18年5月

(静電気対策)小物用卓上ベルヌーイシステムを発売

本体表面の噴射孔からワークとの間に気体を上方に噴射すると、気流の粘性でワークが上方に引き上げられながらベルヌーイ効果による吸着力が発生します。これを利用して非接触でウエハーの吸着搬送を可能にした画期的な製品です。
縦置きから平置き、平置きから縦置きの作業も簡単にできます。また、ペンシル型小型空気バルブは軽量かつ高耐久性で静電気対策のために導電性樹脂を使用しています。


8、12インチ用ポーラス扇型吸着チップをラインナップ
平成17年10月

チップは横長扇型で吸着面に小径孔を2重に配列し、裏面に吸引流路を作りバイトンゴムのOリングにて封止した新構造です。強くない真空圧でも強力な吸引力を発揮し、ウエハーの中心部で吸着する必要はなく外周部のみで安心して吸着できます。このため、吸引導管が短く中心まで吸着部を挿入する必要がないので、隣のウエハーとの接触の恐れがなります。
使用素材はHyperion Catalysis社のCNT入りPEEK樹脂です。


空気で包んで優しく運ぶ"高性能ベルヌーイチャック"を発売
平成17年10月

高性能ベルヌーイチャック

ベルヌーイの原理を利用し、空気を噴出することでより強力な吸引力を発生させ吸着します。搬送物はベルヌーイチャックに触れる事も回転することも無く、非接触状態で安定した保持力維持しつつ搬送できます。ESD対応の透明ガイドリングは簡単に取替えができ、各サイズのウエハーに対応しています。詳細は後日ホームページにてお知らせいたします。


静電気対策用真空ピンセットシステムが完成
平成17年5月

ピンセット本体は導電性ナイロン樹脂製です。作業性の良い柔軟なSUSワイヤー入り導電性PVCチューブをポンプ側に接続し、加えてアースセットを接地させることで電子部品等の静電気による障害を低減し、微小物等の離脱時に著しい効果を発揮します。先端部は新たに開発された導電性ふっ素ゴム(バイトン)製パットを取り付けることで高品質な静電気対策を実現しました。


静電気対策用パットが充実ラインナップ
平成17年5月

導電性バイトンパット、バイトンゴムの耐薬品性、耐熱性を損なわず10の5乗±1乗の固有体積抵抗値を持った導電性に優れた新製品です。
これ以外にも豊富なアクセサリーを取り揃えております。


ポンプ用バッファー(ポンプ内に水が侵入するのを防ぐタンク)を発売予定
平成17年4月

水の付着した吸着物、水中の吸着物などの吸着搬送に威力を発揮します。材質は透明なメタアクリル樹脂製で内部が確認できるのはもとより、適正な重量を得るために肉厚な構造です。


真空ポンプで吸引・吐出切り替えができます。
平成17年4月

市販の電磁バルブを使用することで、真空ポンプFVシリーズ1台で同時に吸引と吐出ができます。吐出側はスピードコントローラにより吐出量を変化できます。また、吸引・吐出空気はHEPAフィルターを通過した清浄な空気です。

※詳細についてはお問い合わせください。


導電性極小ノズル(外径1.0mm、内径0.7mm)[コード:59-0.7]新発売
平成17年4月

耐薬品性、耐熱性に優れたフッ素ゴム(バイトン)に導電性を持たせ、固有体積抵抗値106を実現。静電気の悪影響を防止します。フィルム等の搬送に最適で、脱着もスムーズです。


導電性PVCチューブ[コード:852] 新発売
平成16年9月

導電性ポリウレタンチューブと比較して、柔軟で作業性の良い透明PVCチューブ内にSUS304ワイヤー(0.3mm)を通し、両端を導電性コネクターで接続した長さ2mの柔らかいストレートチューブです。ポンプ側にアースセットを取り付けることで、静電気を除去します。


極小ノズル(シリコンゴム硬度40°外径1mm内径0.7mm) [コード:57-0.7] 新発売
平成16年7月

従来の樹脂製のノズルよりはるかに軟らかく、吸着物に傷をつけることなく搬送する事が出来ます。
吸着物の吸着離脱コントロールは自由自在です。
真空ポンプFV-W及び真空ピンセットF007との組み合せにより可能となりました。